盛美上海(688082)：湿法设备四千腔顺利交付 同步推进平台化建设

　　投资要点

    　　2024 年3 月12 日，盛美上海宣布湿法设备4000 腔顺利交付。

    　　湿法设备四千腔顺利交付，设备可涵盖95%清洗步骤2024 年3 月12 日，盛美上海宣布公司于3 月6 日实现湿法设备4000 腔顺利交付，新里程碑的达成彰显了市场对公司产品的高度认可。

    　　公司深耕半导体清洗设备，2023 年清洗设备营收占比为67.24%。公司成功研发出全球首创的SAPS/TEBO 兆声波清洗技术和单片槽式组合清洗技术，已达到国际领先或国际先进的水平。Gartner 数据显示，2022 年公司在全球单片清洗设备的市场份额已升至7.2%。

    　　根据公司2024 年3 月投资者调研纪要，公司清洗设备包括背面清洗、边缘刻蚀清洗、单片高温SPM 设备、超临界CO2 清洗以及单片槽式组合清洗等清洗设备，可覆盖95%清洗步骤，是全球覆盖范围最广的厂商；随着清洗设备的持续精进和市场的不断开拓，公司有望快速实现中国市场55%-60%的市占率目标。公司预计2024年清洗设备仍将是第一大营收来源，延续稳定增长趋势，其中槽式设备有望实现可观增长。

    　　同步推进平台化建设，新项目串联五大产品加快验证进程公司同步推进平台型设备厂商的建设，积极扩大产品组合，在半导体电镀设备、立式炉管设备、前道涂胶显影（Track）设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备等领域扩大布局。

    　　电镀设备：电镀设备将是公司2024 年的核心增长点，有效提升公司营收规模和整体毛利率水平。目前公司在国内电镀市场的市占率约30%，前道电镀设备已有海外demo 订单，并已获得多家客户的TSV 电镀设备重复订单。

    　　炉管设备：2023 年底公司新增多家炉管客户，有望于2024 年放量贡献营收。ALD已研发完成，正在客户端进行生产验证。公司预计炉管设备综合毛利率将维持在40%-45%。

    　　PECVD 和Track 设备：两类设备预计2025 年开始放量贡献营收，并支撑公司未来5-8 年的高速成长。PECVD 方面，公司采用“一个腔体三个卡盘”的差异化设计，可在同一平台上实现多种PECVD 工艺，预计2024 年将新增3-5 家战略核心客户。Track 方面，公司从300WPH KrF-line 设备切入，逐步进行400WPH 设备的研发，同时2024 年公司也将开发出浸润式ArF Track 设备。

    　　2024 年1 月，公司发布公告拟投资9.40 亿元实施研发和工艺测试平台建设项目。

    　　该项目可串联公司五大产品线（清洗设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track），进行模拟生产线inline 的测试，加快公司对各类设备的开发验证，缩短在客户端的测试验证时间。

    　　2023 年业绩稳定向好，2024 年营收/出货量有望迈上新台阶2023 年公司实现营收38.88 亿元，同比增长35.34%；归母净利润9.11 亿元，同比增长36.21%；扣非归母净利润8.68 亿元，同比增长25.77%；毛利率51.99%，同比提升3.09pcts。全年研发费用6.15 亿元，同比增长62.04%；营收占比为15.82%，同比提升2.61pcts。公司预计后续研发投入占比将维持在15-16%。

    　　公司预计2024 年营收为50~58 亿元，同比增长28.59%~49.16%。根据公司2024年3 月投资者调研纪要，由于部分客户2023 年交货延期至2024 年，2024 年公司出货量增长率预计大于营收增长率，全年出货量有望迈上新台阶。

    　　投资建议：我们预计2024 年至2026 年，公司营收分别为54.00/65.01/78.54 亿元，增速分别为38.9%/20.4%/20.8%；归母净利润分别为11.22/14.22/18.00 亿元，增速分别为23.2%/26.7%/26.6%；对应PE 分别为36.6/28.9/22.8 倍。公司显著受益于半导体设备国产化及先进封装发展带动“中道设备”需求增加，清洗设备贡献稳定营收，电镀、炉管等多品类设备相继放量助推业绩迈上新台阶。持续推荐，维持“增持”评级。

    　　风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。